03.06.2026, 13:45
В России планируют создать отечественный сканирующий электронный микроскоп, необходимый для контроля критически важных размеров на кремниевых пластинах. На это выделено около 2,4 млрд рублей. Это будет промышленно ориентированная установка CD-SEM, способная контролировать пластины диаметром 100, 150 и 200 мм, а опытный образец выпустят в исполнении для 200-мм пластин. Установка даст возможность проводить неразрушающие измерения диаметров […]
Читать весь текст →